1、十萬級無塵車間氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是無塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。

3、十萬級無塵車間室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數(shù)器檢測。

4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。

9、十萬級無塵車間溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。

10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。